Cảm biến áp suất điện dung là một loại cảm biến áp suất sử dụng điện dung làm thành phần nhạy cảm để chuyển đổi áp suất đo được thành thay đổi giá trị điện dung.Loại cảm biến áp suất này thường sử dụng màng kim loại tròn hoặc màng mạ vàng làm điện cực của tụ điện, khi màng cảm nhận được áp suất và biến dạng, điện dung hình thành giữa màng và điện cực cố định sẽ thay đổi và tín hiệu điện có thể được ra với mối quan hệ nhất định giữa điện áp qua mạch đo.
Cảm biến áp suất điện dung thuộc loại cảm biến điện dung biến đổi khoảng cách cực, có thể được chia thành cảm biến áp suất điện dung đơn và cảm biến áp suất điện dung vi sai.
Cảm biến áp suất điện dung đơn bao gồm một màng hình tròn và một điện cực cố định.Màng biến dạng dưới tác động của áp suất, do đó làm thay đổi dung lượng của tụ điện và độ nhạy của nó tỷ lệ thuận với diện tích và áp suất của màng và tỷ lệ nghịch với độ căng của màng và khoảng cách từ màng đến điện cực cố định .Loại điện cực cố định khác có dạng hình cầu lõm và màng ngăn là một mặt phẳng căng được cố định xung quanh ngoại vi.Màng loa có thể được chế tạo bằng phương pháp mạ vàng nhựa.Loại này thích hợp đo áp suất thấp và có khả năng quá tải cao.Một cảm biến áp suất điện dung duy nhất cũng có thể được làm bằng màng ngăn với cực chuyển động của pít-tông để đo áp suất cao.Loại này làm giảm diện tích nén trực tiếp của màng ngăn để có thể sử dụng màng ngăn mỏng hơn để cải thiện độ nhạy.Nó cũng được tích hợp với các phần bù và bảo vệ khác nhau và các mạch khuếch đại để cải thiện khả năng chống nhiễu.Cảm biến này phù hợp để đo áp suất cao động và đo từ xa máy bay.Cảm biến áp suất điện dung đơn cũng có sẵn ở loại micrô (tức là loại micrô) và loại ống nghe.
Điện cực màng áp suất của cảm biến áp suất điện dung vi sai được đặt giữa hai điện cực cố định để tạo thành hai tụ điện.Dưới tác động của áp suất, dung lượng của một tụ điện tăng lên và tụ điện kia giảm đi tương ứng, và kết quả đo được đưa ra bởi một mạch vi sai.Điện cực cố định của nó được làm bằng một lớp mạ vàng trên bề mặt kính cong lõm.Màng loa được bảo vệ khỏi bị vỡ bởi bề mặt lõm trong khi quá tải.Cảm biến áp suất điện dung vi sai có độ nhạy cao hơn và tuyến tính tốt hơn so với cảm biến áp suất điện dung đơn, nhưng chúng khó gia công hơn (đặc biệt là để đảm bảo tính đối xứng) và chúng không thể cách ly được khí hoặc chất lỏng cần đo nên không phù hợp để làm việc trong chất lỏng có tính ăn mòn hoặc tạp chất.
Thời gian đăng: 19-Jun-2023